功能概述：

 1.Reticle storage solution；

規格總結﹕

1.整機尺寸：L(10500mm) x W(1800mm) x H（2840mm)

2.存儲數量：5200 EA

3.無塵等級：ISO Class1

4.存儲方式: Bare Mask storage

設備特點：

Stocker由標準存儲架單元拼接而成，可根據客戶要求進行自由組合;

存儲位reader和頂部FFU也可以根據客戶需求進行選配；