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Reticle Stocker
Reticle storage solution
詳情介紹

功能概述:

 1.Reticle storage solution;


規格總結﹕

1.整機尺寸:L(10500mm) x W(1800mm) x H(2840mm)

2.存儲數量:5200 EA

3.無塵等級:ISO Class1

4.存儲方式: Bare Mask storage


設備特點:

Stocker由標準存儲架單元拼接而成,可根據客戶要求進行自由組合;

存儲位reader和頂部FFU也可以根據客戶需求進行選配;

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