功能概述:
1.Reticle storage solution;
規格總結﹕
1.整機尺寸:L(10500mm) x W(1800mm) x H(2840mm)
2.存儲數量:5200 EA
3.無塵等級:ISO Class1
4.存儲方式: Bare Mask storage
設備特點:
Stocker由標準存儲架單元拼接而成,可根據客戶要求進行自由組合;
存儲位reader和頂部FFU也可以根據客戶需求進行選配;
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