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眾班科技成功開發新一代Reticle Stocker
作者:  |  發布時間: 2022-02-27  |  211 次瀏覽
眾班科技繼續深耕技術,投入開發新一代Reticle Stocker設備研發并取得了成功。

眾班科技繼續深耕技術,投入開發新一代Reticle Stocker設備研發并取得了成功。

設備主要用于配合光刻機使用,用于對光罩(Reticle)進行清潔檢測并進行*清潔存儲。設備由眾班科技自主研發,實現多個創新運用,填補國內該種設備空白。

設備創新采用真空技術和超聲波技術,實現*清潔;設備還采用激光束掃描技術,實現光罩微米級檢測,提高光罩異物識別,進而提高了光刻的良率。

目前該設備已經完成相關認證和測試,將在今年3月搬入某國際半導體設備公司進行架設。

眾班科技聚焦半導體,持續加大技術力量投入,為中國半導體裝配貢獻微薄力量。


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